接触式変位センサの概要と特徴

接触式変位センサとは

概要

その名のとおり、検出体に接触子が直接触れることで位置を測定するセンサです。図のように、スピンドルの高さが変化したときに、その変位量を内部で求めています。主な用途として、ワークの高さ・厚み・反りなどの検出に適しています。

スピンドルを伸ばして測定するエアシリンダタイプ

標準タイプ
標準タイプ

センサヘッド自体を動かす必要がないので、複雑な治具が不要です。また治具による精度ずれの心配がなくなります。

GT2エアシリンダタイプ
GT2エアシリンダタイプ

センサヘッドを固定したまま測定できるので、センサヘッド自体を動かす機構が不要です。省スペースで設置ができ、導入時の工数も大幅に削減できます。

特徴

一般的には検出方式の違いで下表の特徴があります。

検出方式による比較
項目 渦電流式 光学式 超音波式 レーザフォー力ス式 接触式
検出対象物体 金属 ほとんどの物体 ほとんどの物体 ほとんどの物体 固体
測定距離 短い 普通 長い 短い 短い
精度 高い 高い 低い 高い 高い
応答速度 速い 速い 遅い 普通 遅い
ほこり、水、油など 強い 普通 普通 普通 強い
測定面 普通 小さい 大きい 小さい 小さい
検出方式による比較
項目 渦電流式 光学式 超音波式
検出対象物体 金属 ほとんどの物体 ほとんどの物体
測定距離 短い 普通 長い
精度 高い 高い 低い
応答速度 速い 速い 遅い
ほこり、水、油など 強い 普通 普通
測定面 普通 小さい 大きい
項目 レーザフォー力ス式 接触式
検出対象物体 ほとんどの物体 固体
測定距離 短い 短い
精度 高い 高い
応答速度 普通 遅い
ほこり、水、油など 普通 強い
測定面 小さい 小さい

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