平面度の測定
どれくらい正確に平らな面であるべきかという「表面の凸凹さ」を指定する平面度を測定します。
最も出っ張った部分と最もへこんだ部分が、上下に離れた2つの平面の間に挟まれた一定の距離になければなりません。
図面例
ダイヤルゲージによる測定
- a
- 対象物
- b
- テーブル
- c
- ダイヤルゲージ
対象物を精密な平面テーブルの上に載せて固定し、ダイヤルゲージの測定部が測定面に触れるようにセットします。
測定箇所が均一になるように対象物を動かし、ダイヤルゲージの値を読み取ります。
それらの偏差の最大値が平面度になります。
問題点
対象物の動かし方によって測定ポイントが変わるため、測定値も変わる可能性があります。このため、安定した測定値を得ることが困難です。
三次元測定機による測定
- a
- 対象物
4か所以上にスタイラスを当て、ポイント測定をすれば平面度を測定することができます。
測定ポイントを増やすと、測定範囲が広い場合でも高精度かつ安定した測定が可能です。
-
キーエンス ハンディプローブ三次元測定機での測定画面
- a
- 平面度の測定結果
