熱式流量計

熱式流量計の原理と特徴

流量計・流量センサには、さまざまな種類があります。ここでは、熱式流量計の原理や特徴についてまとめました。

原理

流体が熱物体に接触すると、流体は物体から熱を奪って温度が上昇します。熱式流量計は、これを利用して流量を測定しています。熱式流量計は2つの方式に分けられます。

熱式流量計
熱式流量計

温度差測定法

流体の中にヒーターを設置し、その上流と下流の2点で流体温度を測定し、2点間の温度差で流量を割り出します。主には小流量向です。

消費電力測定法

流体の中にヒーターを設置し、その上流と下流の2点で流体温度を測定、2点間の温度差が常に一定になる様にヒーターを制御します。

熱式流量計の特徴

長所
  • 気体の検出が可能
  • 圧力損失が基本的にはない
  • 質量流量が測定できる
短所
  • 流体の温度が変化すると、誤差が出る
  • 流体の種類・組成にあわせた仕様設定が面倒

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