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CHAPTER 3測定機の種類と特徴
測定顕微鏡

概要

光学顕微鏡と精密可動テーブルの組み合わせによって、対象物の測定を行なう装置です。投影機と同様にテレセントリック光学系を採用していて、正確な測定が可能です。非接触で測定ができるため、対象物を傷つける恐れがありません。
用途に応じて、工具顕微鏡や工場用測定顕微鏡、万能測定顕微鏡などがあります。それぞれの特徴は次の通りです。

・工具顕微鏡…測定顕微鏡の原点で、元々工具の測定に用いていました。

・工場用測定顕微鏡…小さな加工部品などの測定に適しています。

・万能測定顕微鏡…工具顕微鏡よりも広い用途に対応し、大きな対象物の測定が可能です。

構造と用途

測定顕微鏡の構造と用途

測定顕微鏡の主な使い方

1. ステージに対象物をセットします。

2. 一般的な光学顕微鏡と同じく透過光もしくは反射光を対象物に当てて、陰の境目を基準線に合わせて測定を行います。対象物によって照明(透過照明、同軸落射照明など)を使い分けます。

3. 計測値は各種のCADデータとして出力が可能です。

取扱いの注意点

・一般の顕微鏡を使用する際と同様に、ほこりのない環境で使用する必要があります。また、設置台は振動や傾斜のないことが求められます。

・使用後はカバーをかけてほこりがつくのを防止します。

・測定顕微鏡の校正周期は、1~3年です。

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近年ではXYステージの移動やピント合わせ無しで、瞬時に寸法が測れる測定器が登場し、多数の対象物を短時間で測定することが可能となっています。

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