導入事例
お客様の声 「厚み編」
- Case 1: ガラスの厚み測定
- Case 2: 多層フィルムの膜厚測定
- Case 3: ウエハの厚み測定
- Case 4: 麺の厚み測定
- Case 5: ゴムシートの厚み測定
- Case 6: モーターコアの積層厚み測定
- Case 7: ガラスパネルのシール材厚み測定
Case 1: ガラスの厚み測定
| 業種 | 半導体・液晶業界 |
|---|---|
| 従来方法 | A社製レーザ変位計 |
| ご採用機種 | CL-3000シリーズカタログダウンロード |
- お客様の声
- ガラスの厚みをA社製レーザ変位計で測定していました。パターン面で値飛びすることがあり、検査タクトがなかなか改善しませんでした。
キーエンスのレーザ変位計CLシリーズを採用することで、パターン面での値飛びがなくなり、検査タクトを改善することができました。 - キーエンス
- ご採用いただきありがとうございます。
一般的なレーザ変位計では、パターン面での値飛びは、ガラス面とパターン面での反射率の差で発生します。レーザ変位計CLシリーズは、照射した光のピントがあった位置を測定するマルチカラー共焦点方式のため、対象物の反射光量差の影響を受けずに高精度測定が可能です。値飛びの影響を限りなく小さくすることができました。
Case 2: 多層フィルムの膜厚測定
| 業種 | 電子・電機業界 |
|---|---|
| 従来方法 | X線式の膜厚計 |
| ご採用機種 | SI-Tシリーズカタログダウンロード |
- お客様の声
- 透明の多層フィルムの膜厚をX線式の膜厚計で測定していました。測定スポットが大きいため、細かなの厚みのバラつきが管理できません。
キーエンスの分光干渉式レーザ変位計を採用することで、細かなフィルム厚みを測定でき、吐出流量や圧力、送り速度の最適な制御に活用できました。 - キーエンス
- ご採用いただきありがとうございます。
膜厚計SIシリーズはφ30μmの小スポットで厚みを測定できるため、エッジ部まで正確に測定することができます。巻き姿不良の検出やバンド現象の未然防止にも効果を発揮できます。
Case 3: ウエハの厚み測定
| 業種 | 半導体・液晶業界 |
|---|---|
| 従来方法 | 接触式の測定器 |
| ご採用機種 | SI-Rシリーズ カタログダウンロード |
- お客様の声
- ウエハの厚みを接触式の測定器で管理していました。測定の際にウエハを割ってしまう、傷がつくという課題があったため、非接触の測定器を検討していました。
キーエンスの分光干渉式レーザ変位計SI-Rシリーズを採用したことで、ウエハを傷つける心配がなくなりました。ヘッドも小さいため、装置内に設置して、ウエハの厚みを常時監視しています。 - キーエンス
- ご採用いただきありがとうございます。
分光干渉式レーザ変位計SI-Rシリーズは、Siをはじめ、GaAs、SiC、InP、a-Siなどの半導体を透過できる近赤外SLDを採用しています。そのため、BGテープが付いたままでも、ウエハの厚みを正確に測定できます。
Case 4: 麺の厚み測定
| 業種 | 食品業界 |
|---|---|
| 従来方法 | マイクロメータ |
| ご採用機種 | CL-3000シリーズカタログダウンロード |
- お客様の声
- 麺の厚みをマイクロメータを使って抜き取り検査していました。麺が柔らかいため、接触圧の影響で、人による測定結果にバラつきがありました。
キーエンスのレーザ変位計CLシリーズを採用することで、インラインでの厚み管理が実現しました。もちろん、非接触での測定なので、人によるバラつきの問題も解決しました。 - キーエンス
- ご採用いただきありがとうございます。
麺の厚み測定は非常にご採用実績の多いご用途です。麺の製造工程では粉が舞っている環境で、測定値を安定化させることがポイントです。
レーザ変位計CLシリーズは、突発的な値をキャンセルするメディアンフィルタを搭載していますので、粉の影響を受けることなく、安定測定ができます。
Case 5: ゴムシートの厚み測定
| 業種 | 樹脂・ゴム業界 |
|---|---|
| 従来方法 | A社製レーザ変位計 |
| ご採用機種 | CL-3000シリーズカタログダウンロード |
- お客様の声
- ゴムシートの厚み測定をA社製レーザ変位計でインライン測定していました。
製品公差の厳格化に対応できずキーエンスのレーザ変位計CLシリーズをトライしました。従来表面粗さの影響で発生していた測定値のバラつきも解消され、購入を決めました。 - キーエンス
- ご採用いただきありがとうございます。
レーザ変位計CLシリーズは表面粗さの影響を極力抑えるクアッド処理システムを搭載。インラインで対象物を問わず、高精度な厚み測定ができます。
Case 6: モーターコアの積層厚み測定
| 業種 | 輸送・金属業界 |
|---|---|
| 従来方法 | 目視検査 |
| ご採用機種 | CL-3000シリーズカタログダウンロード |
- お客様の声
- 積層モーターコアは積層枚数により性能が変わるため、規定枚数が確実にセットされているか目視検査を行っていました。
キーエンスのレーザ変位計CLシリーズを使ってインラインでの厚み測定を行うことで、抜き取り検査を自動化できました。 - キーエンス
- ご採用いただきありがとうございます。
厚み測定によってコアの枚数が規定の範囲内に入っているかを判定するためには、ミクロンオーダーでの測定精度が求められました。レーザ変位計CLシリーズは表面粗さの影響を極力抑えるクアッド処理システムを搭載。インラインで対象物を問わず、高精度な厚み測定ができます。
Case 7: ガラスパネルのシール材厚み測定
| 業種 | 輸送・金属業界 |
|---|---|
| 従来方法 | カメラ |
| ご採用機種 | LJ-Vシリーズカタログダウンロード |
- お客様の声
- ガラスパネルのシール材をカメラで検査しています。塗布切れの検査はできていましたが、シール材の倒れを検査する必要が出てきたため、キーエンスの2次元レーザ変位計LJシリーズを導入しました。ディスペンサにセンサヘッドを固定することで、塗布切れの他、厚みや幅、断面積などを測定することができました。
- キーエンス
- ご採用いただきありがとうございます。
2次元レーザ変位計LJシリーズは、世界最速のサンプリング速度が特徴です。高速にディスペンサを制御した場合でも、挟ピッチの測定ができるため、シール不良を防止することができます。
