測定器の種類
膜厚計
分光干渉式膜厚計
広波長帯域の光を測定対象に照射し、表裏面で反射した光の干渉強度スペクトルをＦＦＴ解析することで、膜厚を測定します。測定結果を測定対象の屈折率で割ることで膜厚が求まります。
光源には、SLD、LED、ハロゲンランプなどがあり、膜厚範囲やスポットサイズ、速度、寿命などを考慮して選定します。多層膜の場合、各膜の境界面で反射した光を干渉させることにより、各膜厚の測定が可能です。
赤外線吸収方式膜厚計
測定対象に赤外線を照射し、透過光（または反射光）の分光スペクトルから、特定波長の吸光度を測定し、膜厚に換算します。特定波長は、各素材の「吸収スペクトルと膜厚との関係」から膜厚によって吸光度が大きく変わる波長を選択します。
静電容量方式膜厚計
センサと対向するように導体面を固定し、その間に測定対象（絶縁体）を入れたときの静電容量を測ることで、膜厚を測定します。測定対象の誘電率は不明なことが多いため、何も入れていないときと既知の厚みの対象物を入れたときの静電容量をそれぞれ計測して算出します。
放射線方式膜厚計（β線式、X線式）
測定対象に放射線を照射すると、一部は後方に散乱し、その線量はその物質の厚みと電子番号によって異なります。
厚みが増えると後方散乱量が増加するので、下地の後方散乱量と皮膜のそれを比較することで厚みを測定することができます。
下地と皮膜の原子番号の差が大きいほど測定精度は上がります。
また、透過式にして放射線の減衰度合いを測ればフィルム膜厚計として使用できます。
