測定器の種類
3次元レーザ変位計
白色干渉方式
光源から照射された光はビームスプリッタにより2分され、一方は対象物、他方は参照ミラーでそれぞれ反射し、受光素子に干渉光として入光します。干渉光は互いの光路長が一致したときに干渉強度が最大となります。すべての光学部品を一体に組み付けた光学ユニットを上下駆動させ、得られた複数枚のコントラスト画像から画素ごとに干渉強度が最大となる光学ユニットの位置を読み取り、対象物までの距離を測定します。
このページのまとめQ&A
- Q. 白色干渉方式とは何ですか？
- A. 光源の光を対象物と参照ミラーに分け、反射光同士の干渉強度が最大となる位置を特定し、高精度に距離を測定する方式です。
- Q. どうやって3次元形状を測定しますか？
- A. 光学ユニットを上下駆動させ複数のコントラスト画像を取得し、各画素で干渉強度が最大となる位置を読み取り高さを求めます。
- Q. 白色干渉方式の特徴は？
- A. 材質や色の影響を受けにくく、死角なくミクロンオーダーの高精度測定が可能で、微細形状の3D計測に適しています。
- Q. 測定速度の特長は？
- A. 8万点の高さ情報をわずか0.13秒で取得でき、高速でありながら高精度な3次元形状測定を実現します。
- Q. 代表機種は何ですか？
- A. 「WI-5000シリーズ」が代表で、白色干渉原理を用いて高精度・高速の3D形状測定に対応します。
キーエンスの3Dセンサ / プロファイルセンサ
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WI-5000 シリーズ
白色干渉3D変位計
白色干渉3D変位計 WI-5000シリーズは、最大10×10mmの面の高さデータをわずか0.13秒、繰り返し精度0.1μmで高精度に測定します。ワークの3D形状に加え、新たに面粗さ（Sa・Sz）・線粗さ（Ra・Rz）もインラインで高速・高精度に測定することが可能になりました。独自設計の可動式光学ユニットを用いた白色干渉原理での同軸測定により、従来は困難だった透明体や鏡面体を含めあらゆる材質・色の対象物に対応。また、異なる材質・色が混在するワークも一括で測定可能です。3D測定ツールを豊富に搭載し、直感的な操作でさまざまな測定ニーズに応えます。さらに、専用スタンドを使用することで、オフライン検査にも使用可能です。
