透過型で測る
測定例：液晶基板の位置決め
最適な測定器透過型寸法測定器
ワークを挟み込み、変動するワークのエッジ位置を測定します。
POINT
透明なワークでも、ワークの検出閾値を変更することで安定測定ができます。
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1次元テレセントリック方式
駆動部分を排除した長寿命設計
クラス最速16kHzサンプリング
用途から選ぶ
位置決め
位置決め測定器をお探しの方へ
位置決め測定の最適な測り方は、測定器の種類、設置環境など様々な要素から選択することが重要です。 適さない機器を選定してしまうと、必要な精度が出なかったり、運用工数アップに繋がってしまいますので、避けたいものです。
このページでは位置決め測定器をお探しの方が、迷わずに最適な測定器に辿り着けるよう、ナビゲートいたします。
「位置決め」の測り方
「位置決め」の最適な測り方を測定器のご提案とあわせて紹介します。
反射型（1次元レーザ変位計）で測る
測定例：高精度ステージの位置決め
反射型（2次元レーザ変位計）で測る
測定例：ボードの位置決め
最適な測定器反射型2次元レーザ変位計
ラインレーザを照射し、得られた形状からワークの位置を測定します。
POINT
センサヘッドをワークの移動方向と垂直に設置して位置測定を行うことができます。
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2次元三角測距方式
ラインレーザによる多点測定
世界最速 64000撮像／秒 -
マルチカラー共焦点方式
直線性：±0.09um
超小型レーザ同軸変位計
まとめ
このページでは、液晶基板やステージ・ボード部品の位置決め精度を測る方法と測定器の構造、さらに測定器を選択するときのポイントや注意点について説明しました。
それらをまとめると、以下の通りです。
- 透過型寸法測定器は、ワークを上下から測定。透明なワークでも、検出しきい値の変更により安定測定を実現。
- 反射型レーザ変位計は、ワークの移動方向から測定可能。ワークとセンサヘッドの距離が長くても対応可能。
- 反射型2次元レーザ変位計は、ワークの移動方向と垂直方向から位置の測定が可能。
- 最適な測定器の選定は、位置決め検出の方向、ワークとセンサヘッドとの距離がポイントになる。
測定する対象によって、その方法はさまざまです。最適な測定を行うには、それらの特徴を知り、正しく測定器を選定することが大切です。
このページで紹介した内容や、他のページに記載している測定の知識や事例についてまとめた資料「測り方がわかる 変位計/測定器 サポートガイド」は、下記からダウンロードできます。レーザ変位計のラインナップカタログとあわせてご覧ください。
キーエンスの商品をご採用いただいたお客様の声はこちら
業界別お客様導入事例【位置決め編】
用途・業界を選ぶだけ！最適な商品をご紹介します
レーザ変位計・測定器の選び方サイトはこちら
このページのまとめQ&A
- Q. 位置決め測定で重要なポイントは何ですか？
- A. 測定方向・ワークの材質・位置ずれ量により適切な測定方式が変わるため、条件に合う測定器選定が精度確保に重要です。
- Q. 透過型で位置決めする方法は？
- A. 寸法測定器でワークを挟み、エッジ位置を検出します。透明ワークも閾値調整で安定して位置決めできます。
- Q. 反射型1次元変位計の特徴は？
- A. ワーク移動方向から距離を測定し、長距離にも対応できます。マイクロヘッド型なら省スペース設置も可能です。
- Q. 反射型2次元変位計の利点は？
- A. ラインレーザで形状を捉え、移動方向と垂直方向から位置を測定できるため、広範囲かつ正確な位置決めが可能です。
- Q. 位置決め測定器選定のポイントは？
- A. 測定方向・ワークとの距離・透明度に応じて透過型か反射型を選び、必要な応答速度と検出精度で選定します。
キーエンスの外径測定器
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LS-9000 シリーズ
超高速・高精度寸法測定器
超高速・高精度寸法測定器 LS-9000シリーズは、16000回/秒の高速サンプリングと±0.03μmの繰り返し精度、そして独自の光学設計により駆動部を排し長寿命な高輝度LEDを採用することで、高い耐久性を実現しました。高速性・高精度・高耐久性により、シーンやワークの材質を選ばず、インライン/オフラインで安定して測定可能です。3つのCMOSを搭載し、高速露光に対応しました。それにより、たとえば線材などのワークが振れてしまう場合もしっかり撮像でき、正確な測定が可能です。また、ワークの姿勢を認識して測定値を補正するため、傾きによる誤差が生じません。さらに、IP67の耐環境設計でエアパージユニットを標準搭載し、汚れや温度変化に強いため、さまざまな環境に対応します。
キーエンスのレーザ変位計 / 膜厚測定器
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CL-3000 シリーズ
マルチカラーレーザ同軸変位計
マルチカラーレーザ同軸変位計 CL-3000シリーズは、対象物の材質や形状を選ばず高精度測定を可能とする超小型な新方式の1次元レーザ変位計です。レーザー光源などの部品はすべて光学ユニットに搭載し、ヘッド内部の部品をレンズのみにしたことで、発熱や電気ノイズなどの影響を受けず、高精度な測定を実現。最小ø8mmの小型・軽量なヘッドは設置の自由度が高く、ロボットに装備したり、従来は困難だった装置の狭いスペースにも取り付けたりすることが可能です。また、曲面・凹み・高低差などさまざまな形状、さらには、透明・鏡面・金属粗面・セラミック・接着剤などのほか、光が多重反射したり・沈み込んだりする対象物であっても高い精度で測定します。真空環境・防爆環境・高温環境で使用できるセンサヘッドもラインナップ。高精度にインライン厚み測定が行える専用治具も準備しています。
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SI-T シリーズ
分光干渉変位タイプ 多層膜厚測定器
分光干渉変位タイプ 多層膜厚測定器 SI-T1000シリーズは、単層から多層までインラインでの安定したフィルム膜厚測定が可能です。安全なSLD（近赤外）光源を搭載した分離型の分光ユニットで、誤差の原因となる電気/磁気ノイズや発熱をゼロにしました。最小ø8mm・重量約70gの小型・軽量なヘッドは設置性に優れ、偏波保持ファイバの採用により、高速なトラバース（TD）測定でファイバが動いても測定値がバラつきません。また、サンプリングごとに受光データを指定回数分積算する光量積算機能で、粘着層のような粗い表面の膜厚も安定測定が可能です。さらに、SLDの発光パルス幅を自動制御し、反射率が安定しないフィルムも誤差なく測定できます。
キーエンスの3Dセンサ / プロファイルセンサ
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LJ-X8000 シリーズ
超高精細インラインプロファイル測定器
業界最高3200point/profileの超高精細測定を実現した、超高精細インラインプロファイル測定器 LJ-X8000シリーズは、“ありのままの形状”を正確に捉えて、高度な3次元検査を実現するレーザ変位計（2次元・3次元）です。超高精細でありながら、最速16kHzの高速サンプリングを実現。また、ライン搬送中の位置ズレやバタつきなど全方向へのズレを検出し、自動補正して測定できるため、位置揃えに手間取ったりライン搬送を止めたりすることなく安定した自動全数検査が実現します。しかも、高精細と扱いやすさを両立。たった3つのステップで簡単に設定が完了するため、導入や段取り替えの工数を大幅にカットできます。
