お客様の声 「反り・平坦度編」
Case 1: ガラスの反り測定
| 業種 | 半導体・液晶業界 |
|---|---|
| 従来方法 | 接触式の測定器 |
| ご採用機種 | CL-3000シリーズカタログダウンロード |
- お客様の声
- ガラスの反りを接触式の測定器で測定しています。傷がついてしまう問題が以前からあり、非接触を検討していました。
複数社のレーザ変位計をテストしましたが、測定時の安定性や、1つのコントローラに複数台のセンサヘッドが接続できるので、キーエンスを採用しました。問い合わせするとすぐに営業の方が来てくれたことも、採用のポイントになりました。 - キーエンス
- ご採用いただきありがとうございます。
レーザ変位計CLシリーズは1つのコントローラにMAX6ヘッドまで接続可能です。
ガラスの4辺と中央の1点を測定する必要があったため、1コントローラ5ヘッドの構成でご提案させていただきました。
Case 2: 基板の反り測定
| 業種 | 電子・電機業界 |
|---|---|
| 従来方法 | B社製レーザ変位計 |
| ご採用機種 | CL-3000シリーズカタログダウンロード |
- お客様の声
- 基板のそりをB社製レーザ変位計で測定していました。測定値が安定しないため、キーエンスに相談したところ、レーザ変位計CLシリーズを提案いただきました。
無料テスト機で1週間テストしましたが、測定値のバラつきが解消されたため、購入しました。 - キーエンス
- ご採用いただきありがとうございます。
基板の場合、レーザ光が内部まで入り込むことで乱反射が発生し、測定値が安定しないことがあります。
レーザ変位計CLシリーズは、対象物の表面でピントがあった光の波長帯域のみを算出し測定を行うマルチカラー共焦点方式のため、沈み込みワークにおいても超高精度に測定できます。
Case 3: 建材ボードの反り測定
| 業種 | その他製造業 |
|---|---|
| 従来方法 | 目視検査 |
| ご採用機種 | LK-G5000シリーズカタログダウンロード |
- お客様の声
- 建材ボードの反りを目視検査していました。光の当たり方によって見え方が異なり、人による判断基準にバラつきがありました。
レーザ変位計を採用したことで、数値による良／不良の判断基準を設けることができました。 - キーエンス
- ご採用いただきありがとうございます。
建材ボードのような表面が荒れている対象物は、測定値のバラつきを抑えるために”測定値の平均化”をすることが安定測定のポイントです。
レーザ変位計LKシリーズは世界最速のサンプリング速度392kHzが特徴の製品です。高速サンプリングで得られた大量のデータを平均処理することで、表面が粗い対象物に関しても安定測定ができます。
このページのまとめQ&A
- Q. ガラスの反り測定で改善できた点は？
- A. CLシリーズの多ヘッド接続と高い測定安定性により、非接触でも傷つけず精度良く反りを測れ、4辺＋中央の多点測定が容易になりました。
- Q. 基板の反り測定での導入効果は？
- A. CLシリーズのマルチカラー共焦点方式により乱反射の影響が抑えられ、従来発生していた測定値のばらつきが解消されました。
- Q. 基板測定で従来方式の課題は？
- A. 基板内部へ光が入り込み乱反射が起きるため、測定値が安定せず、誤判定や精度不足が課題でした。
- Q. 建材ボードの反り測定で改善した点は？
- A. LKシリーズ導入により、目視のばらつきがなくなり数値判定が可能に。高速サンプリングで粗い表面でも安定測定できました。
- Q. 反り・平坦度測定器選定のポイントは？
- A. 対象物の材質や表面状態に応じ、乱反射・粗さへの耐性、高速サンプリング、複数ヘッド接続の可否を重視して選定します。
キーエンスのレーザ変位計
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CL-3000 シリーズ
マルチカラーレーザ同軸変位計
マルチカラーレーザ同軸変位計 CL-3000シリーズは、対象物の材質や形状を選ばず高精度測定を可能とする超小型な新方式の1次元レーザ変位計です。レーザー光源などの部品はすべて光学ユニットに搭載し、ヘッド内部の部品をレンズのみにしたことで、発熱や電気ノイズなどの影響を受けず、高精度な測定を実現。最小ø8mmの小型・軽量なヘッドは設置の自由度が高く、ロボットに装備したり、従来は困難だった装置の狭いスペースにも取り付けたりすることが可能です。また、曲面・凹み・高低差などさまざまな形状、さらには、透明・鏡面・金属粗面・セラミック・接着剤などのほか、光が多重反射したり・沈み込んだりする対象物であっても高い精度で測定します。真空環境・防爆環境・高温環境で使用できるセンサヘッドもラインナップ。高精度にインライン厚み測定が行える専用治具も準備しています。
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LK-G5000 シリーズ
超高速・高精度レーザ変位計
超高速・高精度レーザ変位計 LK-G5000シリーズは、392kHzの高速サンプリングと繰り返し精度0.005μmの高い精度を実現し、あらゆるシーンへの高い対応力と信頼性を持つ1次元レーザ変位計です。従来比2倍の画素幅・画素数を持つ新設計のRS-CMOSを搭載し、高速・高分解能な受光が可能。また、受光素子上にスポットを結ぶHDEレンズを新開発。さらにデルタカットテクノロジーにより、反射光の受光素子への対称性を維持し、0.02％of Ｆ.Ｓ.の直線性を実現しました。色や材質、そして透明・鏡面・粗面などの表面状態に対応するヘッドバリエーションをラインナップし、あらゆる対象物の高精度かつ安定測定を実現します。
