測定器の種類
透過型寸法測定器
Green-LED 投影方式
- 【原理】
- Green-LED 光を均一な平行光にして照射。CMOS 上に届いた光の明暗のエッジ位置を検出し、外径などの測定値を算出します。
| (A) モニタCMOS | ワークをモニタし、傾き補正もできるCMOS |
|---|---|
| (B) 高速露光CMOS | 積分アンプをONチップ化した、専用設計の測定用CMOS |
| (C) 投受光位置測定CMOS | 投光部と受光部間の位置を測定するCMOS |
| (D) 高輝度 Green-LED | 「長寿命」「高輝度」「光量ムラがない」3つの特長を兼ね備えたLED |
| (E) 高効率集光ユニット | LEDの光を効率よく集光するレンズユニット |
レーザスキャン方式
半導体レーザをモータにより回転するポリゴンミラーに照射させることで、測定範囲をスキャンします。
対象物により遮断されたレーザ光の明暗の時間差を測ることにより、外径などの測定値を求めます。
Ｗテレセンシルエット方式
投光部からグリーンLEDの平行光を照射し、受光部で陰影をCMOSに結像。結像された情報から寸法などの測定をおこないます。投光側・受光側、両方にテレセントリックレンズを搭載し、光の平行性を極めたことで、高い安定性と精度を実現しました。
- A
- 投光側テレセントリックレンズ
- B
- 高輝度InGaNグリーンLED
- C
- 受光側テレセントリックレンズ
- D
- 高感度・高解像度CMOS
